性能:
达到压力 7.0×10-5 Pa 以下
排气时间 20分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度 :350℃
特点:
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
工作条件:
设备尺寸 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
电源 3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA
水流量 180升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约11200kg