型号：OTFC-1300
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OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称 OTFC-1300CBI/DBI 真空室 SUS304, φ1300mm×1610mm (H) 工件架 φ1130mm 工件架转速 10rpm to 50rpm(可变) 光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器 蒸发源 电子枪2套 离子源 17cmRF离子源 排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵） 性能
达到压力 7.0×10-5 Pa 以下 排气时间 15分（大气压～1.3×10-3 Pa) 基板温度 最高：350℃ 工作条件
设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) 电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA 水流量 140升/分以上 空气压力 0.5MPa以上 重量 约8500kg
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