二手真空镀膜机-二手真空镀膜机-玻璃标定板-标定板_东莞宏诚光学

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型号:OTFC-1300

尺寸(mm):

厚度:

精度:


材料:


产品详情

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

真空室尺寸:Φ600-1800mm

60点/80点式光学膜厚监控

使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

工件架可选择钟罩式或行星式

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

规格

设备名称OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架转速10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)

 


性能

达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间15分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度最高:350℃

 


工作条件

设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约8500kg


技术参数
服务与保障